Failure Analysis วิเคราะห์ความเสียหายของวัสดุ ด้วยเครื่อง SEM,EDS
การวิเคราะห์ความเสียหายของวัสดุ ที่เราสามารถวิเคราะห์ได้ด้วยเครื่อง SEM,EDS นั้นเรา
สามารถวิเคราะห์วัสดุได้ตั้งแต่ขบวนการผลิต ,ผ่านการทดสอบ หรือผ่านการใช้งานมาบ้าง
แล้วนั้น แม้แต่งานด้าน R&D,QC,QA,FA Lab ก็ล้วนสามารถใช้การวิเคราะห์ได้ด้วยวิธี
การใช้กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน SEM ศึกษาด้านกายภาพและอนุภาค วัดขนาดอนุภาค
ศึกษาเพสวัสดุด้วย BEI Detector (แยกเพสตามอะตอมมิกนัมเบอร์ Z) และอื่นๆ
![](http://www.oknation.net/blog/home/user_data/file_data/201306/11/61938d382.jpg)
ส่วนเครื่องวิเคราะห์ธาตุEDS ใช้ศึกษาหาธาตุในวัสดุเชิงคุณภาพ (Qualitative Analysis)
หาปริมาณธาตุในวัสดุเชิงปริมาณ (Quantitative Analysis) ศึกษาการกระจายตัวของ
ธาตุในวัสดุ หาตำแหน่งธาตุ เช็คเพสด้วยวิธีการทำ Mappinq หรือ Line Scan เป็นต้น
ตามภาพเป็นภาพที่ถ่ายวัสดุ ที่มีปัญหาพบว่ามีคราบสกปรกติดอยู่บนผิว ที่อยู่ด้านขวา
เราจะทำการถ่ายภาพเป็น 3 แบบ 3โหมดเพื่อเปรียบเทียบ
บทความที่เกี่ยวข้องโหมดภาพ SEM : คลิกค่ะ
ถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคปแบบส่องกราด SEM ที่ 20kv (กิโลโวลท์)
กำลังขยาย x 100 เท่า สเกล 100 um (ไมครอน ) หรือ 0.1 มิลลิเมตร
ถ่ายในโหมด High vacuum ภาพแบบ SEI
ตัวอย่างไม่ได้ฉาบเคลือบด้วยทองเพื่อให้นำไฟฟ้า
ถ่ายโดย www.dosem24hr.com
![](http://www.oknation.net/blog/home/user_data/file_data/201306/11/61938abc2.jpg)
ตามภาพเป็นภาพที่ถ่ายวัสดุ ที่มีปัญหาพบว่ามีคราบสกปรกติดอยู่บนผิว ถ่ายด้วย BEI Dedector
ภาพแบบ COMPO ซึ่งสามารถแยกความแตกต่างและเฉดสีวัสดุออกตาม Atomic No.(Z) สามารถ
เช็คเพสของวัสดุแบบง่ายๆได้ เช็คการจับตัวของวัสดุ พอบอกคร่าวๆว่า วัสดุที่มีโทนสีมืดมี Z ต่ำ
และวัสดุที่มีโทนสีสว่างมี Z สูง
ถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคปแบบส่องกราด SEM ที่ 20kv (กิโลโวลท์)
กำลังขยาย x 100 เท่า สเกล 100 um (ไมครอน ) หรือ 0.1 มิลลิเมตร
ถ่ายในโหมด High vacuum ภาพแบบ BEI COMPO
ตัวอย่างไม่ได้ฉาบเคลือบด้วยทองเพื่อให้นำไฟฟ้า
ถ่ายโดย www.dosem24hr.com
![](http://www.oknation.net/blog/home/user_data/file_data/201306/11/61938c4a2.jpg)
ตามภาพเป็นภาพที่ถ่ายวัสดุ ที่มีปัญหาพบว่ามีคราบสกปรกติดอยู่บนผิว ถ่ายด้วย BEI Dedector
ภาพแบบ TOPO ซึ่งสามารถแยกความแตกต่างสูงต่ำของผิววัสดุ เราจะทราบได้ว่าบริเวณด้านขวา
ภาพจะมีความสูงกว่า จะเป็นลักษณะมีคราบมีติด
ถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคปแบบส่องกราด SEM ที่ 20kv (กิโลโวลท์)
กำลังขยาย x 100 เท่า สเกล 100 um (ไมครอน ) หรือ 0.1 มิลลิเมตร
ถ่ายในโหมด High vacuum ภาพแบบ BEI TOPO
ตัวอย่างไม่ได้ฉาบเคลือบด้วยทองเพื่อให้นำไฟฟ้า
ถ่ายโดย www.dosem24hr.com
![](http://www.oknation.net/blog/home/user_data/file_data/201306/11/61938c899.jpg)
การวิเคราะห์เชิงคุณภาพ
หลังจากเราศึกษาทางกายภาพแล้ว เรามาศึกษาด้วยเครื่องวิเคราะห์ธาตุ Energy
Dispersive X-ray Spectrometer ,EDS/EDX กันต่อ
บทความที่เกี่ยวข้องการวิเคราะห์ธาตุ : คลิกค่ะ
โดยเราวิเคราะห์เชิงคุณภาพ ตามตำแหน่งภาพด้านบนที่กำลังขยาย X100 เท่า เราจะได้
สเปกตรัมตามภาพ
ซึ่งเราจะได้ผลเชิงคุณภาพ ว่ามี C คาร์บอน,O ออกซิเจน,Fe เหล็ก,Ag เงิน เป็นต้น
![](http://www.oknation.net/blog/home/user_data/file_data/201306/11/619388489.jpg)
สเปกตรัมเชิงปริมาณอีกแบบ ทั้ง 2สเปกตรัมมีผลเชิงปริมาณเท่ากัน ต่างกันที่รูปแบบ
![](http://www.oknation.net/blog/home/user_data/file_data/201306/11/61938b6fd.jpg)
การวิเคราะห์เชิงปริมาณ
เชิงคุณภาพเราจะทราบว่ามี ธาตุ Element อะไรบ้างแต่มีมากน้อยกี่% เราจะไม่ทราบ
ซึ่งเราจะต้องวิเคราะห์เชิงปริมาณกันต่อ เมื่อเราวิเคราะห์เชิงปริมาณเราจะได้ผลตาม
ภาพล่าง
ซึ่งจะได้ผลแบบ Element% และแบบ Compound%
![](http://www.oknation.net/blog/home/user_data/file_data/201306/11/6193877d3.jpg)
ผล Element% แบบกราฟแท่ง
![](http://www.oknation.net/blog/home/user_data/file_data/201306/11/61938ab66.jpg)
การวิเคราะห์ดูการกระจายตัว แบบ Speed Mapping (เชิงคุณภาพ)
จากผลการวิเคราะห์เชิงคุณภาพและเชิงปริมาณ เนื่องจากเราเลือกใช้วิเคราะห์ทั้งภาพ(Area)
ไม่ได้เลือกใช้วิธียิงเป็นจุด (Point) ทำให้ผลที่ได้คือผลที่ได้ทั้งหมดที่เราเห็นตามภาพ ถ้า
เราจะใช้วิธีการยิงเป็นจุด เพือจะให้ทราบตำแหน่งธาตุก็ได้ แต่อาจจะต้องยิงหลายจุด จะมีวิธี
การหาตำแหน่งของธาตุแบบรวดเร็ว ดูการกระจายตัว เช็คเพสที่เรียกว่า Mapping ตามผล
ด้านล่างเราก็จะทราบ ตำแหน่งแต่ละธาตุว่าอยู่ส่วนใหนของตัวอย่างได้
บทความที่เกี่ยวข้องและการดูผล :
การทำ Mapping แบบเชิงปริมาณและเชิงคุณภาพ คลิกค่ะ
![](http://www.oknation.net/blog/home/user_data/file_data/201306/11/619380071.jpg)
การวิเคราะห์ดูการกระจายตัวตามเส้นแนว แบบ Speed Line Scan (เชิงคุณภาพ)
เราสามารถกำหนดเส้นบนตำแหน่งที่เราสนใจต้องการ ทราบว่ามีอะไรณ.ตำแหน่งที่เรา
ลากเส้นผ่านได้
ตามภาพล่างเส้นสีเหลืองคือเส้นที่เรากำหนดที่เราจะทำ Line Scan ซ้ายสุดคือจุดเริ่ม
![](http://www.oknation.net/blog/home/user_data/file_data/201306/11/619381b9f.jpg)
ผลวิเคราะห์ตามเส้นลากผ่าน ผลตามภาพด้านล่าง
บทความที่เกี่ยวข้องและการดูผล :
การทำ Line Scan แบบเชิงปริมาณและเชิงคุณภาพคลิกค่ะ
![](http://www.oknation.net/blog/home/user_data/file_data/201306/11/619386f78.jpg)
เราสามารถซ้อนภาพกับ Line Scan แต่ละธาตุได้
ตามภาพเราเอาภาพ BEI COMPO ซ้อนผล Line Scan ของธาตุ Fe (Mix Line Scan)
![](http://www.oknation.net/blog/home/user_data/file_data/201306/11/6193822cd.jpg)
ตามภาพเราเอาภาพ BEI COMPO ซ้อนผล Line Scan ของธาตุ Ag (Mix Line Scan)
![](http://www.oknation.net/blog/home/user_data/file_data/201306/11/61938a863.jpg)
หรือจะซ้อนผล Line Scan ของธาตุ FeและAg เข้าด้วยกัน (Mix Line Scan)
![](http://www.oknation.net/blog/home/user_data/file_data/201306/11/61938ffb5.jpg)
และยังมีวิธีการหลากหลายที่ยังไม่ได้ลงรายละเอียดไว้ เช่นการเช็คเพสวัสดุแบบ
เชิงคุณภาพ Cameo,เช็คเพสแบบเชิงปริมาณ Phase Analysis, Area Measurement
ไว้ติดตามบทความต่อๆไปนะครับ
*****************************************************************
สุดท้ายขอขอบคุณ Do SEM ที่เปิดพื้นที่ให้ มากๆครับ
น้อมรับทุกคำชี้แนะครับ Mr.Golf (สิงห์เฒ่าซ่อมเซ็ม) manatsanan2007@hotmail.com
หรือมาพบปะพูดคุยได้ตามประสาได้ที่ BigC จ.สุรินทร์ (แอร์ฟรี 555 จริงๆนะครับ) หรือมา
ติดตามเป็นเพื่อนผ่านโซเชียลเน็ตเวิร์ค ตามลิงค์ด้านล่างเลยครับ
http://www.facebook.com/JeolOxfordInstruments?ref=hl
*********************************************************************
*********************************************************************
บทความน่าสนใจอื่นๆ
สถานที่ให้และรับบริการ SEM,EDS : ใกล้ฟิวเจอร์รังสิต และดรีมเวิลด์
Do SEM บริการเครื่อง SEM กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคป แบบส่องกราด
บทความน่าสนใจอื่นๆ มากกว่า 100 บทความ คลิกลิงค์ข้างล่างค่ะ
##############################################################################