EDS ,EDX resolution check มาเช็คสุขภาพเครื่องวิเคราะห์ธาตุ EDS,EDX กัน

บทความนี้ขอขอบคุณคุณกอล์ฟ Mr.Golf (สิงห์เฒ่าซ่อมเซ็ม)
manatsanan2007@hotmail.com

สำหรับ End User ที่ใช้เครื่องวิเคราะห์ธาตุ Oxford Link ISIS รุ่นนี้ End User สามารถเช็ค
ด้วยตัวเองได้ แต่ถ้าเป็นรุ่นสูงกว่านี้ไม่ว่าจะเป็นรุ่น INCA series และ AZtec series ในส่วน
End User ไม่สามารถทำได้เพราะต้องใช้ Engineer password (สำหรับ Enginee เท่านั้น)

การเช็คนี้สามารถเช็คการทำงานของบอร์ด Link ISIS Tower,Power supply,ISIS software
,Error และ Resolution

EDS Resolution ความสามารถแยกแยะแจกแจงความกว้างของพีค ค่านี้ยิ่งมีค่าน้อยยิ่งดี
โดยทั่วไป EDS Resolution ค่านี้จะอยู่ระหว่าง 115 - 140 ev.(electron volt) เราจะทราบ
ได้อย่างไรว่า EDS ที่เราใช้ Resolution เท่าไรกัน ไม่ยากครับ ให้เราดูที่ EDS Detector
label ที่จะเป็นป้ายสติกเกอร์แปะติดเอาไว้ ด้านข้าง/ล่างของ Detector ให้ดูที่ข้อความ
RESOL. AT Mn 5.9 Kev. จะระบุไว้ว่า Resolution เราจะเป็นเท่าไร ถ้าเป็นของ Oxford
จะมี 133 ev. และ 138 ev. (บางรุ่นได้ถึง 115 ev.)

 

พอเราเช็คป้ายและทราบแล้วว่า Detector resolution มีค่าเท่าไรแล้ว ถ้าต้องการเช็คว่าได้
ตามที่ระบุไว้ไหม หรือตอนนี้ประสิทธิภาพของ Detector เราเป็นอย่างไรไม่ยากครับ

ตามภาพล่าง



ให้เข้าที่ Program > ISIS Setup > Customer Validation



หน้า Customer Validation จะเปิดขึ้นมาตามภาพ แล้วคลิกปุ่มเริ่ม Start ซ้ายมือตามภาพ



หลังคลิก Start ใช้เวลาไม่เกิน 5 วินาทีการเช็คบอร์ด Link ISIS Tower,Power supply,
ISIS software,Error จะเสร็จสิ้น ยกเว้นการเช็ค Resolution ถ้าต้องการดูผลให้คลิกที่รูป
ปริ้นเตอร์ ในที่นี้เราจะยังไม่ดูผล เราจะเช็คResolution ให้เสร็จก่อนแล้วดูผลทีเดียว ตาม
ภาพล่างถ้าจะเช็คResolution ต่อให้คลิกปุ่มรูป Detector ต่อ



หรือที่เมนูคำสั่งคลิกที่ >Detector Diagnose

 

หน้า Detector Diagnosis

ช่องที่ทำเครื่องหมายสี่เหลี่ยมส้มแรก จะถามเราว่าเราทำการปรับสภาพตัวตรวจจับ(Detector)
ล่าสุดเมื่อไร ให้เราใส่เป็นวันที่ หรือไม่ใส่ก็ได้   ส่วนช่องส้มที่สองจะถามเรา 4 ข้อ
ข้อแรก ถามว่าสายเคเบิลระหว่างตัวตรวจจับ กับบอร์ดต่ออยู่ไหม (คงไม่มีใครถอด)
ข้อสอง หมายเลข Attribute No.ตรงกับที่แสดงไหม เช็คหมายเลขได้ที่ Detector Label
ข้อสาม มีไอหรือหยดน้ำ รอบๆตัว Detector dewar ไหม
ข้อสี่   ระดับไนโตรเจน LN2 อยู่ในระดับไหม

ทั้งสี่ข้อถ้าไม่มีปัญหา และค่าตรงเราก็คลิก yes ทั้งหมด เสร็จแล้วคลิก Continue

การเช็คเพื่อไม่ให้ยุ่งยาก ให้เราเลือกใช้ Guided ตามภาพ



ขั้นตอนนี้เครื่องจะทำการเช็คบอร์ด DXP50 หรือ DSPP อัตโนมัติรอจนกระทั้ง Test Passed
เสร็จทั้งสามช่อง เสร็จแล้วคลิก Continue



ขั้นตอนนี้ให้เราปิด Beam/Filament ของเครื่อง SEM ก่อน หลังจากนั้นคลิก OK

หลังจากคลิก OK เราจะได้ผลตามภาพล่าง ผลที่ได้เป็นปกติเราสามารถทำขั้นตอนต่อไปได้
โดยการคลิก Continue ต่อ แต่ถ้าขั้นตอนนี้มีปัญหาจะมีข้อแนะนำให้เราปฏิบัติตาม หรือขอ
คำแนะนำจาก Mr.Golf (สิงห์เฒ่าซ่อมเซ็ม) manatsanan2007@hotmail.com ได้ครับ



ขั้นตอนนี้ให้เราเปิด Beam/Filamet และปรับ Beam Probe/Spot size ให้ได้ Input rate
ระหว่าง 500 ไม่เกิน 1000 cps. และเช็คค่า Resolution ตรงกับ Detector label ไหม
ถ้าตรง เสร็จแล้วคลิก OK





หลังคลิก OK ระบบจะเริ่มเช็ค Resoluion ตั้งแต่ Process Time 1 ถึง 6

ผลการเช็คResolution ตามภาพด้านล่าง Resolution process time 5 และ 6 ไม่ดี
จะทำให้การวิเคราะห์เชิงปริมาณเชิงคุณภาพไม่ค่อยดี Peak จะกว้างและจะ Overlab
ความสามารถวิเคราะห์ธาตุเบา Light element และธาตุที่มีปริมาณน้อยๆจะทำได้ไม่ดี
ความแม่นยำเชิงปริมาณลดลงไปเยอะ
Resolution แบบนี้ไม่ลิเนียร์ หรือแบบตกท้องช้าง (แบบปกติต้องมากไปน้อยสุด)

ข้อแก้ไขปลายเหตุ ต้องหนีไปใช้ process time 4 แทนกรณีต้องการวิเคราะห์
เชิงปริมาณและเชิงคุณภาพ

ส่วนข้อแก้ไขต้นเหตุ ติดตามบทความ แก้ไขเรื่องEDS Resolution บทความต่อไป
 



ผลการเช็คResolution ตามภาพด้านล่าง Resolution process time  6 ไม่ดี
จะทำให้การวิเคราะห์เชิงปริมาณเชิงคุณภาพไม่ค่อยดี Peak จะกว้างและจะ Overlab
ความสามารถวิเคราะห์ธาตุเบา Light element และธาตุที่มีปริมาณน้อยๆจะทำได้ไม่ดี
ความแม่นยำเชิงปริมาณลดลงไปเยอะ

ข้อแก้ไขปลายเหตุ ต้องหนีไปใช้ process time 5 แทนกรณีต้องการวิเคราะห์
เชิงปริมาณและเชิงคุณภาพ

ส่วนข้อแก้ไขต้นเหตุ ติดตามบทความ แก้ไขเรื่องEDS Resolution บทความต่อไป



ผลการเช็คResolution ตามภาพด้านล่าง Resolution process time 1- 6 ไม่มีปัญหา
จะทำให้การวิเคราะห์เชิงปริมาณเชิงคุณภาพดีมาก Peak จะแคบและจะไม่ Overlab
ความสามารถวิเคราะห์ธาตุเบา Light element และธาตุที่มีปริมาณน้อยๆจะทำได้ดี
ความแม่นยำเชิงปริมาณเชิงคุณภาพจะสูง

Resolution ที่เราเช็คได้คือ 132 ev.(Process time 6/ PT6) ต่ำกว่าที่ระบุไว้ที่ Detector
label ยิ่งต่ำกว่ายิ่งดี ผลที่เช็คเราเช็คจากเครื่อง SEM ถ้าเราเช็คจาก FE-SEM เราจะได้ค่า
ประมาณ 127-129 ev. (Detector label it was 133 ev.)

เสร็จขั้นตอนนี้เราก็คลิก Continue
 


มาถึงขั้นตอนนี้ให้ปรับ Input rate เกิน 1000 cps. ขึ้นไป โดยปรับ Beam Probe/Spot size



ปรับ Input rate เกิน 1000 cps. ได้แล้วคลิก OK



หลังคลิก OK จะได้ผลตามภาพ เสร็จขั้นตอนนี้เราก็คลิก Continue



หลังได้ผลตามภาพ เสร็จขั้นตอนนี้เราก็คลิก Continue



ขั้นตอนการเช็ค Detector ของเราก็เสร็จทุกขั้นตอน เสร็จแล้วคลิก OK

lose

หลังคลิก OK จะกลับมาหน้านี้ แล้วเราก็คลิก Close



ถ้าจะดูผล และพิมพ์ผลที่เราเช็คมาทั้งหมด ให้คลิกที่ปุ่มปริ้นเตอร์ตามภาพ



คลิกที่ปุ่มปริ้นเตอร์ เราก็จะเจอหน้า Customer Details จะเป็นข้อมูลหน่วยงานเรา
ที่ Engineer ได้ป้อนข้อมูลไว้ตั้งแต่ติดตั้ง ส่วนนี้เราสามารถแก้ไขข้อมูลนี้ได้ เสร็จ
แล้วก็คลิก OK



หลังคลิกที่ OK เราจะได้หน้า Report ออกมา 2 หน้าจะเป็นรายละเอียดเกี่ยวกับ
Link ISIS Tower,Power supply,ISIS software,Error และค่า Resolution ที่
เราเช็คได้ และสามารถปริ้นผลเก็บได้



ถ้าผลการเช็คเราได้ผลออกมาไม่ดี ยังมีวิธีแก้ไขได้ด้วย End user หลายวิธีด้วยกัน
ประมาณ 4 วิธีด้วยกัน ถ้า 4วิธีนี้ทำแล้วเหมือนเดิมก็ต้องตาม Engineer แล้วละครับ
ติดตามวิธีกับบทความ แก้ไขเรื่องEDS Resolution บทความต่อไปครับ

สำหรับ End user ท่านใดที่มีรุ่น INCA series และ AZtec series ก็ให้ตามช่างมา
ช่วยเช็คให้แล้วกัน โดยส่วนใหญ่ Engineer จะเช็คให้อยู่แล้ว เวลาช่างมาทำ PM และ
Column Cleaning ส่วนผมจะเช็คมากกว่าที่กล่าวมา คือเช็คความแม่นยำของตัวตรวจ
จับ หรือ Detector Accuracy เพิ่มเติม รอและติดตามบทความนี้ต่อไปครับ

สุดท้ายขอบคุณน้องๆทีมงาน Do SEM ที่ให้ Mr.Golf (สิงห์เฒ่าซ่อมเซ็ม) มีโอกาสนำความรู้
อันน้อยนิด มาแชร์ครับ ขอบคุณครับ 

น้อมรับทุกคำชี้แนะครับ Mr.Golf (สิงห์เฒ่าซ่อมเซ็ม) manatsanan2007@hotmail.com 
หรือมาพบปะพูดคุยได้ตามประสาได้ที่ BigC จ.สุรินทร์ (แอร์ฟรี 555 จริงๆนะครับ) หรือมา 
ติดตามเป็นเพื่อนผ่านโซเชียลเน็ตเวิร์ค แต่ยังไม่ได้อัพและแชร์ มัวแต่ทำนาทำไร่ อยู่ครับ 
ตามลิงค์ด้านล่างเลยครับ 
http://www.facebook.com/JeolOxfordInstruments?ref=hl 

*********************************************************************
resolution check,eds resolution,edx resolution,detector resolution,resolution,link isis resolution

ที่มา : http://www.dosem24hr.com/index.php

สถานที่ให้และรับบริการ SEM,EDS : ใกล้ฟิวเจอร์รังสิต และดรีมเวิลด์