ภาพจากกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคป แบบส่องกราด
FE-SEM,SEM,EPMA Image
ภาพที่ได้จากกล้องจุลทรรศน์ไมโครสโคปไม่ว่าจะจากเครื่อง SEM, FE-SEM และ EPMA
จะได้ภาพลักษณะเดียวกัน จะแตกต่างกันในเรื่องของความสามารถแจกแจงรายละเอียด
ของภาพ (Resolution) โดย FE-SEM จะอยู่ระหว่าง 0.8 nm-1.5 nm. ,SEM 3-3.5 nm.
และ EPMA 7-8 nm. FE-EPMA ประมาณ 3-3.5 nm.(นาโนเมตร)
* SEI Secondary Electron Image เกิดจาก Primary electron ที่ได้จากการยิงของปืนอิเล็กตรอน
(Electron Gun) ที่ใส้หลอด(Filament) ทำมาจากทังสเตน(W) ยิงมากระทบตัวอย่างและสะท้อนกลับ
เป็นSecondary Electron แล้วมีตัวตรวจจับ PMT (Photo multiply tube) แปลง Primary electron
เป็นสัญญาณไฟฟ้า และมีชุดแปลงสัญญาณไฟฟ้าเป็นสัญญาณภาพต่อ
** BEI Backscattered Electron Image จะมีโหมด COMPO และ TOPO
โดยตัวตรวจจับสัญญาณ BEI จะรับสัญญาณ Backscattered Electron ที่สะท้อนจาก
ตัวอย่างมาแปรผลเป็นภาพในโหมดต่างๆ
- COMPO Mode สัญญาณ Backscattered Electron ที่ตัวตรวจจับรับได้แต่ละบริเวณ
จะแปรผลตามเลขอะตอม (Atomic number,Z) ถ้าตัวอย่างมีเนื้อสารไม่หมือน หรือไม่
เป็นเนื้อเดียว การแปรผลออกมาจะได้ภาพหลายเฉดสี โดยธาตุเบาจะมีเฉดสีมืด(ดำ)
ธาตุหนักจะมีเฉดสีเทา ไปสีสว่าง (ขาว)
- COMPO +SHADOW Modeเพิ่มเงาให้ภาพในโหมด COMPO Modeให้มีมิติมากยิ่งขึ้น
- TOPO Mode คือภาพ topography แสดงลักษณะทางกายภาพและทางธรรมชาติของ
ตัวอย่างรวมถึงความสูงต่ำ ลึกตื้นของผิวตัวอย่าง
- TOPO Mode +SHADOW เพิ่มเงาให้ภาพในโหมด TOPO Mode ให้มีมิติมากยิ่งขึ้น
ภาพ BEI ที่แสดงในบทความนี้ได้จาก BEI Detector เป็นแบบ P-N Junction
และBEI Detector แบบอื่นๆเช่น แบบ Robinson Detector, YAK Detector
เรามาดูภาพที่ได้ในแต่ละแบบกัน
1.ภาพ SEI Secondary Electron Image ใน HV โหมด(HV SEM,High vacuum SEM) สูญญากาศสูง
2.ภาพ SEI Secondary Electron Image ใน LV โหมดโหมดสูญญากาศต่ำ
(LV SEM,LOW vacuum SEM)
3.ภาพ BEI Backscattered Electron Image แบบ COMPO ใน HV โหมดสูญญากาศสูง
(HV SEM,High vacuum SEM)
4.ภาพ BEI Backscattered Electron Image แบบ COMPO +SHADOW ใน HV โหมดสูญญากาศสูง
(HV SEM,High vacuum SEM)
5.ภาพ BEI Backscattered Electron Image แบบ TOPO ใน HV โหมดสูญญากาศสูง
(HV SEM,High vacuum SEM)
6.ภาพ BEI Backscattered Electron Image แบบ TOPO +SHADOW ใน HV โหมดสูญญากาศสูง
(HV SEM,High vacuum SEM)
7.ภาพ BEI Backscattered Electron Image แบบ COMPO +SHADOW ใน LV โหมดสูญญากาศต่ำ
(LV SEM,LOW vacuum SEM)
8.ภาพ BEI Backscattered Electron Image แบบ COMPO ใน LV โหมดสูญญากาศต่ำ
(LV SEM,LOW vacuum SEM)
9.ภาพ BEI Backscattered Electron Image แบบ TOPO+SHADOW ใน LV โหมดสูญญากาศต่ำ
(LV SEM,LOW vacuum SEM)
10.ภาพ BEI Backscattered Electron Image แบบ TOPO ใน LV โหมดสูญญากาศต่ำ
(LV SEM,LOW vacuum SEM)
***************************************************************************
FE-SEM image,SEM Image,EPMA Image,BEI COMPO,BEI TOPO,SEI,BEI COMPO SHADOW,
BEI TOPO SHADOW,ภาพSEM,ภาพจากกล้องจุลทรรศน์
*********************************************************************
บทความน่าสนใจอื่นๆ
สถานที่ให้และรับบริการ SEM,EDS : ใกล้ฟิวเจอร์รังสิต และดรีมเวิลด์
Do SEM บริการเครื่อง SEM กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคป แบบส่องกราด
บทความน่าสนใจอื่นๆ มากกว่า 100 บทความ คลิกลิงค์ข้างล่างค่ะ
##############################################################################