ภาพจากกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคป แบบส่องกราด
FE-SEM,SEM,EPMA Image
![](http://www.oknation.net/blog/home/user_data/file_data/201303/10/619387a99.jpg)
ภาพที่ได้จากกล้องจุลทรรศน์ไมโครสโคปไม่ว่าจะจากเครื่อง SEM, FE-SEM และ EPMA
จะได้ภาพลักษณะเดียวกัน จะแตกต่างกันในเรื่องของความสามารถแจกแจงรายละเอียด
ของภาพ (Resolution) โดย FE-SEM จะอยู่ระหว่าง 0.8 nm-1.5 nm. ,SEM 3-3.5 nm.
และ EPMA 7-8 nm. FE-EPMA ประมาณ 3-3.5 nm.(นาโนเมตร)
* SEI Secondary Electron Image เกิดจาก Primary electron ที่ได้จากการยิงของปืนอิเล็กตรอน
(Electron Gun) ที่ใส้หลอด(Filament) ทำมาจากทังสเตน(W) ยิงมากระทบตัวอย่างและสะท้อนกลับ
เป็นSecondary Electron แล้วมีตัวตรวจจับ PMT (Photo multiply tube) แปลง Primary electron
เป็นสัญญาณไฟฟ้า และมีชุดแปลงสัญญาณไฟฟ้าเป็นสัญญาณภาพต่อ
** BEI Backscattered Electron Image จะมีโหมด COMPO และ TOPO
โดยตัวตรวจจับสัญญาณ BEI จะรับสัญญาณ Backscattered Electron ที่สะท้อนจาก
ตัวอย่างมาแปรผลเป็นภาพในโหมดต่างๆ
- COMPO Mode สัญญาณ Backscattered Electron ที่ตัวตรวจจับรับได้แต่ละบริเวณ
จะแปรผลตามเลขอะตอม (Atomic number,Z) ถ้าตัวอย่างมีเนื้อสารไม่หมือน หรือไม่
เป็นเนื้อเดียว การแปรผลออกมาจะได้ภาพหลายเฉดสี โดยธาตุเบาจะมีเฉดสีมืด(ดำ)
ธาตุหนักจะมีเฉดสีเทา ไปสีสว่าง (ขาว)
- COMPO +SHADOW Modeเพิ่มเงาให้ภาพในโหมด COMPO Modeให้มีมิติมากยิ่งขึ้น
- TOPO Mode คือภาพ topography แสดงลักษณะทางกายภาพและทางธรรมชาติของ
ตัวอย่างรวมถึงความสูงต่ำ ลึกตื้นของผิวตัวอย่าง
- TOPO Mode +SHADOW เพิ่มเงาให้ภาพในโหมด TOPO Mode ให้มีมิติมากยิ่งขึ้น
ภาพ BEI ที่แสดงในบทความนี้ได้จาก BEI Detector เป็นแบบ P-N Junction
และBEI Detector แบบอื่นๆเช่น แบบ Robinson Detector, YAK Detector
เรามาดูภาพที่ได้ในแต่ละแบบกัน
1.ภาพ SEI Secondary Electron Image ใน HV โหมด(HV SEM,High vacuum SEM) สูญญากาศสูง
![](http://www.oknation.net/blog/home/user_data/file_data/201303/10/61938438c.jpg)
2.ภาพ SEI Secondary Electron Image ใน LV โหมดโหมดสูญญากาศต่ำ
(LV SEM,LOW vacuum SEM)
3.ภาพ BEI Backscattered Electron Image แบบ COMPO ใน HV โหมดสูญญากาศสูง
(HV SEM,High vacuum SEM)
![](http://www.oknation.net/blog/home/user_data/file_data/201303/10/61938dc4c.jpg)
4.ภาพ BEI Backscattered Electron Image แบบ COMPO +SHADOW ใน HV โหมดสูญญากาศสูง
(HV SEM,High vacuum SEM)
![](http://www.oknation.net/blog/home/user_data/file_data/201303/10/61938a68d.jpg)
5.ภาพ BEI Backscattered Electron Image แบบ TOPO ใน HV โหมดสูญญากาศสูง
(HV SEM,High vacuum SEM)
![](http://www.oknation.net/blog/home/user_data/file_data/201303/10/619388bb2.jpg)
6.ภาพ BEI Backscattered Electron Image แบบ TOPO +SHADOW ใน HV โหมดสูญญากาศสูง
(HV SEM,High vacuum SEM)
![](http://www.oknation.net/blog/home/user_data/file_data/201303/10/619384604.jpg)
7.ภาพ BEI Backscattered Electron Image แบบ COMPO +SHADOW ใน LV โหมดสูญญากาศต่ำ
(LV SEM,LOW vacuum SEM)
![](http://www.oknation.net/blog/home/user_data/file_data/201303/10/619382a65.jpg)
8.ภาพ BEI Backscattered Electron Image แบบ COMPO ใน LV โหมดสูญญากาศต่ำ
(LV SEM,LOW vacuum SEM)
9.ภาพ BEI Backscattered Electron Image แบบ TOPO+SHADOW ใน LV โหมดสูญญากาศต่ำ
(LV SEM,LOW vacuum SEM)
![](http://www.oknation.net/blog/home/user_data/file_data/201303/10/61938c3e2.jpg)
10.ภาพ BEI Backscattered Electron Image แบบ TOPO ใน LV โหมดสูญญากาศต่ำ
(LV SEM,LOW vacuum SEM)
***************************************************************************
FE-SEM image,SEM Image,EPMA Image,BEI COMPO,BEI TOPO,SEI,BEI COMPO SHADOW,
BEI TOPO SHADOW,ภาพSEM,ภาพจากกล้องจุลทรรศน์
*********************************************************************
บทความน่าสนใจอื่นๆ
สถานที่ให้และรับบริการ SEM,EDS : ใกล้ฟิวเจอร์รังสิต และดรีมเวิลด์
Do SEM บริการเครื่อง SEM กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคป แบบส่องกราด
บทความน่าสนใจอื่นๆ มากกว่า 100 บทความ คลิกลิงค์ข้างล่างค่ะ
##############################################################################